高純度チタン ターゲット 丸いスプッティングコーティング ツール

高純度チタン標的

記述:

"ターゲット"という言葉は 日常の射撃目標から来ているコーティング材料は,電子線またはイオン線で爆撃されます.発射する材料は"発射標的"と呼ばれます

仕様:

適用:

タイタン発射標的は,原材料と同じ性質を有する.高純度チアゲットは,地殻に広く分布している (約0.4%).世界 の タイタン 貯蔵量は 約 3.40億トン,すべての元素の中で9位.チタンは高い商業的価値を持つ材料です.高強度,良い耐腐蝕性,高耐熱性および他の利点により,チタンは,高性能の材料です.航空宇宙などの日常生活の分野で広く使用されています自動車製造,医療・医療

純度: 純度 は,スプッター コーティング で 製造 さ れ た フィルム の 性能 に 大きな 影響 を 及ぼし ます.例えば,チタン合金 の スプッター 標的 を 取っ て ください.噴射されたフィルムの耐腐蝕性や電気的・光学的な性質が高くなるほど.

不浄物含有量: 標的固体と孔内の酸素と水蒸気中の不浄物により,堆積されたフィルムが汚染される主な原因となる.異なる用途の標的材料には,不純物含有量に関する要求が異なります..

密度: 標的の密度は,スプッティング速度に影響するだけでなく,フィルムの電気的および光学的な特性にも影響します. したがって,高純度Tiターゲットの固体内の毛穴を小さくし,スプッターフィルムの性能を改善するために標的にされる材料は通常より高い密度が必要である.

タイタン合金スプッターターゲットの準備

タイタン合金スプッターターゲットは,チタン金属を原材料として製造したチタン製品で,チタン薄膜を製造するためのスプッターコーティングに使用されます.チタン金属からチタンスプッターターゲットを製造する方法は2つあります 鋳造と粉末金属技術です.

鋳造: ある 割合 の 原材料 を 溶かし,溶融 溶液 を 鋳型 に 注ぎ込み,金塊 を 形成 し,最後に 噴射 対象 に 加工 する.方法 は 溶かし,真空 で 鋳造 する.

粉末金属工学: 特定の配分比を持つ原材料を溶かして,それをブロックに鋳造し,それを粉砕します.粉末 は 静止 的 に 圧迫 さ れ,高温 で シンテレーション さ れ,最終的に 標的 を 形成 する.